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儀器介紹
橢圓偏振法測量的原理很早就已提出，相應(yīng)的測試方法和設(shè)備也不斷地被改進(jìn)和創(chuàng)新，使得橢圓偏振法成為重要的測試手段，并廣泛地應(yīng)用在光學(xué)、材料、生物、醫(yī)學(xué)等各個領(lǐng)域。其中測量薄膜材料的厚度、折射率和消光系數(shù)是橢圓偏振法基本和重要的應(yīng)用之一 。
SGC-2自動橢圓偏振測厚儀產(chǎn)品特點(diǎn)
· 儀器采用消光式橢圓偏振方式測量
· 精度高、自動控制
· 光源采用氦氖激光，波長精度高
· 儀器采用USB接口與電腦連接
· 配套軟件對采樣數(shù)據(jù)具有多種處理方式，適用于不同需要
· 軟件有完整版及學(xué)生版兩種版本，適于教學(xué)要求
SGC-2自動橢圓偏振測厚儀參數(shù)
| 測量范圍： | 1nm-400nm |
| 測量小值： | 小于等于1nm |
| 鍍膜折射率范圍： | 1.300-10.000 |
| 入射角： | 40°-90° |
| 方位角讀數(shù)范圍： | 0°-180° |
| 測量精度： | ±5nm |
| 厚度： | 小于等于10nm |
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